CIF紫外臭氧清洗機
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紫外臭氧清洗機（UVO），是一種簡單，經(jīng)濟，快速高效的材料表面清洗設(shè)備，能快速去除大多數(shù)無機基材（比 如石英，硅片，金，鎳，鋁，砷化鎵，氧化鋁等）上的有機污染物。CIF 推出的紫外臭氧清洗機系列產(chǎn)品采用 長壽命 UV石英低壓汞蒸汽格柵燈，樣品臺高度可調(diào)，可選加熱控溫，以便達到清洗效果。
更新時間：2024-06-12 16:46:33
紫外臭氧清洗機原理：
通過紫外燈發(fā)出適當(dāng)強度的 185nm 和 254nm 波長高能紫外線破壞有物分子 ( 污染物 )。185nm 波長紫外光的光能 量能將空氣中的氧氣 (O2) 分解成臭氧 (O3)，而 254nm 波長的紫外光的光能量能將 O3 分解成 O2 和原子氧 (O)，? ?254 nm 紫外線同時激發(fā)表面的有機物分子，提高其敏感性，可以被臭氧分子團破壞。在連續(xù)進行的光敏氧化反應(yīng)中，生成的 活性原子氧 (O) 與活化了的有機物 ( 即碳氫化合物 ) 分子發(fā)生氧化反應(yīng)，生成揮發(fā)性氣體 ( 如 CO2，CO, H2O,NO 等 ) 逸 出材料表面，從而清除粘附在材料表面上的碳和有機污染物，達到清洗的目的。
?產(chǎn)品特點
◆ ?UVO 基礎(chǔ)型系列采用可編程數(shù)字控制器，設(shè)置操作簡單方便，四鍵操作控制。UVOP、UVOT 系列采用 5 寸彩色觸摸屏?中英文互動操作界面，設(shè)置顯示計時時間及加熱溫度。
◆??自動補償功能，自動恒定光強光密度，不會因為低壓汞燈老化光強衰減影響清洗效果。
◆ ?數(shù)字倒計時顯示清洗時間，1-999 分鐘之間可自行設(shè)置清洗時間。
◆ ?任何時間可以手動中斷處理過程。
◆??自動記錄之前清洗參數(shù)設(shè)置。
◆ ?樣品臺可控溫（可選），控溫范圍 RT-200℃,控溫精度 0.1℃。
◆ ?頂置下壓式鉸鏈開關(guān)蓋方式，操作簡單方便。
◆ ?上置式樣品臺設(shè)計，360 度自由放置樣品，操作方便。
◆ ?樣品臺高度可調(diào)，通過調(diào)節(jié)燈與樣品之間的間距，可以合理定位樣品高度和位置，并可鎖定。
◆ ?UV?石英低壓汞蒸汽格柵燈，燈管壽命大約為 8000 小時。
◆ ?高強度 UV 燈源，波長 185nm 和 254nm。
◆ ?可累計計時 UV 格柵燈使用時長，更換提示。
◆ ?UV 反射罩（長 X 寬）比 UV 格柵燈大 25mm。
◆ ?雙重安全保護，帶有安全鎖，當(dāng)清洗腔打開時，系統(tǒng)自動關(guān)掉 UV 燈，并有燈光通斷提示。
◆ ?帶進 &?出氣口雙氣路設(shè)計。
◆ ?可接入氧氣或者臭氧，增加臭氧產(chǎn)量。
◆ ?UVO5 可選外置臭氧中和器，UVO9、UVO13 系列可選外置或者內(nèi)置臭氧中和器，用于臭氧清除。
◆ ?可根據(jù)客戶要求定制鋁或石英材料真空反應(yīng)腔。
?技術(shù)參數(shù)
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產(chǎn)品型號 | UVO5/UVO5P/UVO5T | UVO9/UVO9P/UVO9T | UVO13/UVO13P/UVO13T |
UV 燈尺寸 | 130x130mm | 230x230mm | 330x330mm |
樣品臺高度 | 0-50mm 可調(diào) | 0-50mm 可調(diào) | 0-50mm 可調(diào) |
電???源 | AC220V 50/60Hz 140/190/690W | AC220V 50/60Hz 140/190/690W | AC220V 50/60Hz 140/190/1160W |
外型尺寸 | L260xW320xH200mm | L370xW470xH200mm | L465xW575xH200mm |
包裝尺寸 | L375xW470xH390mm | L490xW600xH320mm | L575xW680xH320mm |
整機重量 | 8kg | 15kg | 18kg |
注：?UVO 型基礎(chǔ)型樣品臺不帶加熱功能，樣品臺高度可調(diào)；?UVOP 可選配樣品臺加熱功能，樣品臺高度可調(diào)；?UVOT 標(biāo)配?樣品臺加熱功能，樣品臺高度可調(diào)?？蛇x臭氧中和裝置。