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半自動晶圓烘焙熱板系統(tǒng)

    UNIXX HTe20型熱板是一款桌面型半自動烘焙系統(tǒng),用于晶圓的單面烘烤,可用于預(yù)烘烤(Pre-bake),前烘(soft bake),底膠涂覆(Primer Vapor)和后烘烤(hardbake堅膜)工藝。?

    更新時間:2022-11-24 16:53:30
  1. 詳細(xì)信息

產(chǎn)品簡介

UNIXX HTe20型熱板是一款桌面型半自動烘焙系統(tǒng),用于晶圓的單面烘烤,可用于預(yù)烘烤(Pre-bake),前烘(soft bake),底膠涂覆(Primer Vapor)和后烘烤(hardbake堅膜)工藝。 

 產(chǎn)品特色

 ÷ 溫度高達(dá) 300°C

÷ 電子驅(qū)動升降pin

÷ 支撐pin材料為不銹鋼,尖端采用 PEEK 材料 (最大250°C)

÷ 程序控制支撐pin的升降(不同停止的速度和步數(shù))

÷ 熱板通過真空固定晶圓

÷ 熱板蓋手動控制

÷ 集成排煙裝置

÷ 通過設(shè)置receip自動進(jìn)行加熱處理

 主要技術(shù)數(shù)據(jù)

÷ 襯底尺寸最大可達(dá) ?200 mm (? 8”)  200 x 200 mm (8 x 8 inch)

÷ 溫度最大可達(dá) 300°C, 步進(jìn)1°C

÷ 溫度精度: < ±1°C@100°C 

÷ 支撐pin: ?50 mm (?2”) ,最大可達(dá) ?200 mm(?8”)  200 x 200mm (8 x 8 inch)

÷ 熱板材質(zhì)硬質(zhì)陽極氧化鋁

÷ 加熱蓋材質(zhì)不銹鋼

 可選項

÷ 支撐pin材料

÷ 邊緣支撐pin

÷ N2吹掃

÷ HMDS 熱板系統(tǒng)(六甲基二硅胺底膠蒸汽涂覆)

÷ 600℃熱板

÷ 真空泵

圖片29.png圖片30.png

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